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第277章 历史性时刻（第4页）

他这话自然不是谦虚。

这种新型光刻胶从研发出来并没有经过实际的高端芯片测试，且目前生产出来的存量也有限，很多地方确实需要看最终结果。

比如对于晶圆厂来说最重要的成品率。

如果使用这种光刻胶光刻的芯片残次率较大，那就算光刻胶成本很低，也绝对不会继续使用。

这也是新型光刻胶很难在国际上有市场的原因。

基本晶圆厂绝对不会冒险。

否则所造成的损失将直接影响到利润。

侯盛昌这会显然已经对徐昀无比信任，闻言伸手拍了拍徐昀的肩膀宽慰道：“没有你就没有国产极紫外光刻机的今天，要多给自己点自信才行。”似乎丝毫不觉得今天测试会有问题。

随即光刻机将极紫外光通过镜片，照在前面准备好的集成电路掩膜版上。

将设计师绘制好的电路图曝光在晶圆上。

后面则需要溶解光刻胶。

使光刻过程中曝光在紫外线下的光刻胶被溶解掉。

清除后留下的图案和掩模上的一致，再进行蚀刻。

尽管到这一步已经非常繁琐，可后续还需经过离子注入电镀抛光覆盖层数，直至制造出布满芯片的晶圆。

虽然这个等待的过程比较枯燥，徐昀侯盛昌等人却没有丝毫的不耐烦。

在晶圆参考电路图案和每一块芯片进行对比测试后便开始切片。

并丢弃瑕疵芯片。

余下芯片经过封装再次测试后，便能包装发货。

把整个流程全部跟下来，可以确定光刻机的各项功能和运行都没有问题，在设计时的理想参数范围内。

虽不知道长期运行后会有什么变化，起码现在通过了测验。

接下来则只需要确定芯片的瑕疵率，以及生产出的芯片最终性能。

如果都没有问题的话，便能够正式对外界宣布首台国产极紫外光刻机交付。

相信解释肯定会引起全球的轰动。

“拿到最终芯片测试数据还要等些时间，院长还是先去休息室吧。”

徐昀稍微松了口气，特意对身旁的侯盛昌说。

眼下该看的东西都已经看完，接下来光刻机也会自行运转工作，倒没必要继续留在原地等待。

“放心吧院长，肯定不会有问题的。”闻言旁边的罗长辉也接过话茬附和道。

侯盛昌年纪虽然在这放着，可面对让人魂不守舍的极紫外光刻机，他宁愿多驻足会欣赏这个大家伙。

可想到结果出来还要些时间，而他刚好有其他事情告诉项目组，便不再迟疑当即点头答应下来。

“那好吧。”