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掩膜方面因为极紫外光线的特殊性,普通掩膜版非常容易破坏,这就需要研发出特殊的掩膜版。
可以说这几项问题每个单独拿出来,都需要研究所进行大量长时间的研究。
并且还不见得一定会有成果。
足可见制造整台极紫外高端光刻机的难度。
也怪不得海外半导体领域有恃无恐,并不担心他们能够实现高端芯片制造产业链国产化。
幸好高端光刻胶的问题已经解决,否则便相当于是又增加了难度。33小说网
徐昀弄清楚这些的同时自然也有了方向,这时面对罗长辉的询问并未隐瞒什么,当即便大方讲出了自己接下来的规划。
“我打算先解决光源问题。”
在场的研究员很清楚这些问题都要解决,先主攻哪个并无多大区别。
自然不会对徐昀的决定提出质疑。
相反听到这个答案后纷纷点头表示附和。
“光源确实是非常重要的问题,我们现在所能制造出的极紫外光源,功率方面根本达不到要求。”
“我没有意见。”
“我也支持徐教授的决定。”
徐昀对大家的表现非常满意,但若认为他只能做到这种程度可就大错特错了。
没等大家回过神来,他便又丢出一颗重磅炸弹。
“之后一段时间我会拿出光源的设计方案,另外后续我也会完成光学系统和掩膜的方案,到时候就要拜托大家合力将光刻机完成。”
如果说刚才大家对徐昀短时间看完全部资料只是意外和吃惊。
那么此刻听完这句话后,表情霎时间便僵硬在了脸上完全处于懵圈状态。
瞳孔骤缩仿佛发生了地震。
不敢相信自己究竟听到了什么。
短时间拿出光源设计方案也就罢了,竟还表示掩膜和光学系统同样不会少,关键听这话的意思似乎还是徐昀要独立完成方案。
哪怕徐昀拥有极高的天赋,并且创造出了多项奇迹推动行业变革。
他们也想象不到这种可能。
作为光刻机项目的老成员,没有人比他们更清楚其中的困难程度。
只能说徐昀的话不像去研发光刻机的人,反倒是已经掌握了全部的技术。
直接把相关设计方案从脑子里拿给他们去完成。
但这显然是不可能的。
奈何徐昀的语气又充斥着自信,整个人一副胸有成竹的模样。
让他们实在不好判断具体状况。
伴随长时间的沉默在房间里蔓延开来,使得氛围显得诡异起来。
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